Thuis > producten >

GRM1201 Meertraps Roots Droge Vacuümpomp 1200 m³/h Olievrij voor Halfgeleider PECVD MOCVD

Name: GRM1201 Meertraps Roots Droge Vacuümpomp 1200 m³/h Olievrij voor Halfgeleider PECVD MOCVD
Brand: Ningbo Baosi Energy Equipment Co., Ltd.
SKU: GRM1201
Price: 10,500.00 USD
Availability: InStock

Productdetails:

Plaats van herkomst:	China
Merknaam:	Baosi
Certificering:	CE
Modelnummer:	GRM1201

Gedetailleerde informatie

Plaats van herkomst:

China

Merknaam:

Baosi

Certificering:

Modelnummer:

GRM1201

Pompsnelheid:

1200 m3/h

Ultieme druk:

≤0,15 Pa

Motorvermogen:

1,9+1,9 kW

Spanning:

380V/3-fase

Inlaat:

ISO160

Uitstel:

KF25

Lawaai:

≤63 dB(A)

Gewicht:

260 kg

Afmetingen:

865×344×751 mm

Koelwater:

0,1-0,6 MPa, ≥4 l/min

N2 zuivering:

0,2-0,6 MPa, 12-50 l/min

Markeren:

High Light

Markeren:

hogesnelheidswortelvacuümpomp

1200m3h droogvacuümpomp

PECVD MOCVD procesvacuüm

Handelsinformatie

Min. bestelaantal:

1 Instellen

Prijs:

USD 8500-12500/Set

Verpakking Details:

Exporteer standaard houten kistverpakkingen

Levertijd:

15-30 werkdagen

Betalingscondities:

T/T,L/C

Levering vermogen:

50 sets/maand

Productbeschrijving

GRM1201 Meerstadiumworteldroge vacuümpomp 1200 m3/h olievrije hogesnelheidsvacuümpomp voor halfgeleiders PECVD MOCVD

GRM1201 Meerstadium wortels droge vacuümpomp 1200 m3/h High-Speed-oplossing

De GRM1201 is een hogesnelheidspomp met meervoudige stappen die 1200 m3/h pompsnelheid levert met een uiteindelijke druk van ≤0,15 Pa.Het delen van hetzelfde compacte platform als de GRM601 (865 * 344 * 751 mm), 260 kg) maar met een ISO160-inlaat voor een hogere doorvoer, is het uitstekend in PECVD, MOCVD en veeleisende halfgeleider schone en middelgrote procestoepassingen.

Belangrijkste kenmerken

High-Speed Multi-Stage Roots:1200 m3/h met laag energieverbruik
Dual motor efficiëntie:1.9+1.9 kW synchrone permanentmagneetmotoren
Uitstekende ultieme druk:≤ 0,15 Pa voldoet aan veeleisende procesvereisten
Ultra-Rustig:≤ 63 dB (A)
Grote ISO160-inlaat:Houdt zich bezig met hoge gasdoorvoer voor productie-schaal toepassingen
Olievrij schoon vacuüm:Geen olieverontreiniging voor gevoelige halfgeleiderprocessen
Superieure stofbehandeling:Geavanceerd rotorontwerp voor deeltjesrijke omgevingen
Compact platform:Zelfde voetafdruk als GRM601
Drievoudig afsluitingssysteem:Lippenverzegeling + labyrint + stikstofuitspuiting garantie olievrij vacuüm
Slimme verbinding:I/O en RS485 (Modbus) voor integratie van fabrieken op afstand

Technische specificaties

Model	GRM1201
Pompsnelheid	1200 m3/h
Ultieme druk (zonder zuivering)	≤ 0,15 Pa
Motorvermogen	1.9 + 1,9 kW
Spanning	380V (3-fase)
Inlaatverbinding	ISO 160
Uitlaatverbinding	KF25
Geluidsniveau	≤ 63 dB (A)
Gewicht	260 kg
Afmetingen (LWH)	865 * 344 * 751 mm
Koelwaterdruk	00,6 MPa
Koelwaterstroom	≥ 4 l/min
N2-spuitdruk	0.2·0,6 MPa
N2-spoelstroom	12 ‰ 50 l/min
Werktemperatuur	5 ̊40°C; ≤ 90% RH

Toepassingen

Halve geleider: PECVD, MOCVD, SACVD, RTP, HDP-CVD, ALD, Metal Etch, Silicon Etch
Photovoltaïsche: productielijnen voor zonnecellen met een hoge doorvoer
Lithiumbatterijen: productie-schaal cellen drogen en elektrolyten verwerken
Flat-panel display: productie van OLED- en LCD-displays

Taggen:

GRM1201 Meertraps Roots Droge Vacuümpomp 1200 m³/h Olievrij voor Halfgeleider PECVD MOCVD

High Light

Markeren:

hogesnelheidswortelvacuümpomp

1200m3h droogvacuümpomp

PECVD MOCVD procesvacuüm

Turbo vacuümpomp,

Hoge vacuümpomp,

hogesnelheidswortelvacuümpomp

Watergekoelde droge vacuümpomp 1200 m³/h, ≤0,15 Pa, 1,9 kW, GRM1201

Watergekoelde droge vacuümpomp 200m3/h,≤ 0,5Pa,1.9kw, GRM201

Watergekoelde droge vacuümpomp 600 m³/h, ≤0,15 Pa, 1,9 kW, GRM601