GRH1202 Droge klauwvacuümpomp 1200 m³/u Olievrije industriële vacuümpomp voor halfgeleider-CVD-proces

GRH1202 Droge klauwvacuümpomp – 1200 m³/u olievrije industriële oplossing

De GRH1202 is een krachtige droge klauwvacuümpomp uit de GRH-serie, ontworpen voor veeleisende productieprocessen van halfgeleiders, fotovoltaïsche batterijen en lithiumbatterijen. Met een pompsnelheid van 1200 m³/u en een einddruk van ≤0,5 Pa levert hij een betrouwbaar olievrij vacuüm zonder besmettingsrisico.

Belangrijkste kenmerken

• Olievrij klauwmechanisme:De pompkamer bevat geen olie of werkmedium, waardoor een schoon vacuüm wordt gegarandeerd dat geschikt is voor gevoelige processen
• Synchrone motor met permanente magneet:Levert een lager energieverbruik in vergelijking met conventionele motoren
• Geavanceerd rotorontwerp:Verbeterde verwerkingscapaciteit van stofdeeltjes voor veeleisende procesomgevingen
• Stof- en damptolerant:Ongevoelig voor stof en waterdamp in verpompte gassen
• Compacte voetafdruk:Ruimtebesparend ontwerp met hoge systeemintegratie (821 * 420 * 791 mm)
• Uitgebreide bescherming:Volledige beschermingsfuncties met sterk zelfaanpassend vermogen
• Lage trillingen en ruis:≤70 dB(A) tijdens bedrijf bij einddruk
• Geavanceerde afdichting:Lipafdichting en labyrintafdichtingssysteem gecombineerd met stikstofspoeling voorkomen olieverontreiniging
• Afstandsbediening:I/O-interface en RS485 (Modbus-protocol) voor bewaking en bediening op afstand

Technische specificaties

Toepassingen

• Halfgeleider: etsen, ionenimplantatie, CVD, ALD, PECVD, MOCVD, SACVD, RTP, HDP-CVD
• Fotovoltaïsche energie: kristalgroeiovens, productie van zonnecellen
• Lithiumbatterij: celvacuümdrogen, vullen met elektrolyt, ontgassen