GRH6002 Droge klauwvacuümpomp 6000 m3/h Ultra-hoge capaciteit olievrije vacuümpomp voor halfgeleiderproces

GRH6002 Droge klauwvacuümpomp ¥ 6000 m3/h Ultra-hoge capaciteit

De GRH6001 is het vlaggenschipmodel van de GRH-serie en levert een indrukwekkende pompsnelheid van 6000 m3/h met een ultieme druk ≤0,5 Pa. Met een ISO250-inlaat, 11 + 7,5 kW dubbele motorconfiguratie,en robuuste 846 kg industriële constructie, is het ontworpen voor de meest veeleisende grootschalige productiefaciliteiten voor halfgeleiders, fotovoltaïsche en lithiumbatterijen.

Belangrijkste kenmerken

• Ultra-hoge capaciteit:6000 m3/h pompsnelheid
• Olievrije klauwtechnologie:Geen olieverontreinigingsrisico voor gevoelige halfgeleiderprocessen
• Dual motor systeem:11+7,5 kW synchrone permanentmagneetmotoren
• ISO250 Grote inlaat:Handhaaf van grote gasstromen voor grootschalige productielijnen
• Superieure stofbehandeling:Geavanceerd ontwerp van de klauwrotor voor ruwe omgevingen
• Industriële constructie:846 kg robuuste constructie met 1076*516*988 mm
• Laag geluid:≤ 70 dB (A) ondanks een hoog pompvermogen
• Geavanceerde afdichting:Drie lagen bescherming: lipdichting + labyrint + stikstofsuivering
• Verzorging op afstand:I/O + RS485 (Modbus) voor volledige fabrieksintegratie

Technische specificaties

Toepassingen

• Grootschalige halfgeleiders: etsen in grote hoeveelheden, ionimplantatie, CVD-processen
• Megafabrieken voor fotovoltaïsche installaties: groei van kristallen en productie van cellen op grote schaal
• Gigafabrieken voor lithiumbatterijen: celdrogen, elektrolytenvullen, ontgassen
• Vervaardiging van platte schermdisplays: LCD-, LED-, OLED-productielijnen