GRM602 Meerstadiumworteldroge vacuümpomp 600 m3/h olievrije vacuümpomp met een middellange capaciteit voor halfgeleiderproces

GRM602 Meerstadiumworteldroge vacuümpomp ¥ 600 m3/h Middelgrote capaciteit

De GRM601 is een droge vacuümpomp voor wortels met een middellange capaciteit en een snelheid van 600 m3/u met een indrukwekkende uiteindelijke druk van ≤0,15 Pa.9 kW permanente magneet synchrone motoren zorgen voor betrouwbaar olievrij vacuüm voor halfgeleiders, fotovoltaïsche en lithiumbatterijen.

Belangrijkste kenmerken

• Multi-stage wortelontwerp:Hoge pompsnelheid met laag stroomverbruik
• Dual-motorconfiguratie:1.9+1.9 kW voor een evenwichtige, efficiënte werking
• Ultra-lage ultieme druk:≤ 0,15 Pa voor veeleisende procesvereisten
• Ultra-Rustig:≤ 63 dB (A)
• Olievrij mechanisme:Nul olieverontreiniging voor gevoelige processen
• Superieure deeltjesbehandeling:Geavanceerde rotorstructuur voor stoffige processen
• Compact integratie:865 * 344 * 751 mm, 260 kg
• Niet gevoelig voor stof en damp:Betrouwbaar met procesbijproducten en vocht
• Geavanceerde afdichting:Lippenverzegeling + labyrint + stikstofspoeling bescherming
• Verzorging op afstand:I/O en RS485 (Modbus) voor fabrieksautomatisering

Technische specificaties

Toepassingen

• Halve geleider: PECVD, MOCVD, SACVD, RTP, HDP-CVD, ALD, Metal Etch, Silicon Etch
• Fotovoltaïsche energie: groei van kristallen, productie van zonnecellen
• Lithiumbatterie: celdrogen, elektrolytenvullen, ontgassen
• Flat Panel Display: LED- en LCD-productieprocessen