GRM201 Meerstadium wortels droge vacuümpomp 200 m3/h olievrije compacte vacuümpomp voor halfgeleider schoonmaakproces

GRM201 Meertraps droge vacuümpomp voor wortels – 200 m³/u compacte olievrije oplossing

De GRM201 is een compacte meertraps droge wortelsvacuümpomp die een pompsnelheid van 200 m³/u levert met een ultrastille werking bij ≤63 dB(A). Het olievrije meertrapswortelontwerp maakt hem ideaal voor schone en middelgrote halfgeleiderprocessen, fotovoltaïsche productie en productielijnen voor lithiumbatterijen die een vervuilingsvrij vacuüm met een minimale footprint vereisen.

Belangrijkste kenmerken

• Meertraps wortelontwerp:Laag stroomverbruik met hoog pomprendement
• Ultrastille werking:≤63 dB(A) — de stilste in zijn klasse
• Olievrij mechanisme:De pompkamer bevat absoluut geen olie voor schone procescompatibiliteit
• Synchrone motor met permanente magneet:1,9 kW met superieure energie-efficiëntie
• Superieure stofverwerking:Geavanceerde rotorstructuur voor verbeterde deeltjesuitlaat
• Compacte voetafdruk:Slechts 741 * 344 * 466 mm, 150 kg — eenvoudig te integreren
• Stof- en damptolerant:Ongevoelig voor procesbijproducten en vocht
• Volledige bescherming:Uitgebreide veiligheidsvoorzieningen met aanpassingsvermogen
• Slimme bediening:I/O en RS485 (Modbus-protocol) voor bewaking op afstand
• Drievoudige afdichting:Lipafdichting + labyrintafdichting + stikstofspoeling voor gegarandeerd olievrij vacuüm

Technische specificaties

Toepassingen

• Halfgeleider schone/middelgrote processen: ALD, PECVD, MOCVD, SACVD, RTP, HDP-CVD
• Fotovoltaïsch: kristalgroeiovens, fabricage van zonnecellen
• Lithiumbatterij: celvacuümdrogen, vullen met elektrolyt, ontgassen
• R&D-laboratoria: vacuümsystemen voor universitair en industrieel onderzoek