logo
Thuis > producten >
droge vacuümpomp
>
GRH3001 Droge klauw vacuümpomp 3000 m3/h Olievrij ontwerp voor halfgeleiderproces

GRH3001 Droge klauw vacuümpomp 3000 m3/h Olievrij ontwerp voor halfgeleiderproces

Productdetails:
Plaats van herkomst: China
Merknaam: Baosi
Certificering: CE
Modelnummer: GRH3001
Gedetailleerde informatie
Plaats van herkomst:
China
Merknaam:
Baosi
Certificering:
CE
Modelnummer:
GRH3001
Pompsnelheid:
3000 m ³ /h
Ultieme druk:
≤0,5 Pa
Motorvermogen:
11+7,5 kW
Spanning:
380V/3-fase
Inlaat:
ISO160
Uitstel:
KF40
Lawaai:
≤ 70 DB ((A)
Gewicht:
770kg
Afmetingen:
922×516×988 mm
Koelwater:
0,1-0,6 MPa, 11 l/min
N2 zuivering:
0,2-0,6 MPa, 43/97/123 l/min
Markeren:

High Light

Markeren:

hoge capaciteit droge vacuümpomp

,

3000m3h claw vacuümpomp

,

industriële vacuümpomp voor halfgeleiders

Handelsinformatie
Min. bestelaantal:
1 Instellen
Prijs:
USD 12800-18500/Set
Verpakking Details:
Exporteer standaard houten kistverpakkingen
Levertijd:
20-35 werkdagen
Betalingscondities:
T/T,L/C
Levering vermogen:
30 sets/maand
Productbeschrijving
GRH3001 Droge klauwvacuümpomp 3000 m³/u Olievrije vacuümpomp met hoge capaciteit voor industriële halfgeleiderprocessen
GRH3001 Droge klauwvacuümpomp – 3000 m³/u olievrije oplossing met hoge capaciteit

De GRH3001 is een droge klauwenvacuümpomp met hoge capaciteit die een pompsnelheid van 3000 m³/u levert met een uiteindelijke druk van ≤0,5 Pa. Met een krachtige dubbele motorconfiguratie van 11+7,5 kW kan hij de meest veeleisende productieprocessen van halfgeleiders, fotovoltaïsche batterijen en lithiumbatterijen aan, terwijl de werking zonder vervuiling wordt gehandhaafd.

Belangrijkste kenmerken
  • Olievrij ontwerp met hoge capaciteit:Pompsnelheid van 3000 m³/u zonder risico op olieverontreiniging
  • Dubbel motorsysteem:Synchrone motoren met permanente magneet van 11+7,5 kW voor maximale efficiëntie
  • Geavanceerde klauwrotor:Superieure stofverwerking en lange levensduur in zware omstandigheden
  • Stof- en damptolerant:Ongevoelig voor deeltjes en waterdamp in procesgassen
  • Compacte integratie:922 * 516 * 988 mm voetafdruk met een robuuste constructie van 770 kg
  • Uitgebreide bescherming:Volledige veiligheids- en bewakingsfuncties met adaptieve bediening
  • Geluidsarme werking:≤70 dB(A) voor comfortabele werkomgevingen
  • Meerlaagse afdichting:Lipafdichting + labyrintafdichting + stikstofspoeling voor gegarandeerd olievrij vacuüm
  • Slimme connectiviteit:I/O en RS485 (Modbus-protocol) bewaking en bediening op afstand
Technische specificaties
Model GRH3001
Pompsnelheid 3000 m³/u
Ultieme druk ≤0,5 Pa
Motorvermogen 11 + 7,5 kW
Spanning 380V (3-fase)
Inlaataansluiting ISO160
Uitgangsaansluiting KF40
Geluidsniveau ≤70 dB(A)
Gewicht 770 kg
Afmetingen (L*B*H) 922*516*988mm
Koelwaterdruk 0,1–0,6 MPa
Koelwaterstroom 11 l/min
N₂ Spoeldruk 0,2–0,6 MPa
N₂ Spoelstroom 43/97/123 l/min
Bedrijfstemperatuur 5–40°C; ≤90% RV
Toepassingen
  • Halfgeleider:Etsen, ionenimplantatie, CVD (ALD, LPCVD, PECVD, MOCVD, SACVD, RTP, HDP-CVD)
  • Fotovoltaïsch:Kristalgroei, productieprocessen voor zonnecellen
  • Lithiumbatterij:Celvacuümdrogen, vullen met elektrolyten, ontgassingprocessen