logo
Thuis > producten >
droge vacuümpomp
>
GRH1802 Droge klauwvacuümpomp 1800 m³/u Hoge snelheid olievrije vacuümpomp voor de productie van halfgeleiders

GRH1802 Droge klauwvacuümpomp 1800 m³/u Hoge snelheid olievrije vacuümpomp voor de productie van halfgeleiders

Productdetails:
Plaats van herkomst: China
Merknaam: Baosi
Modelnummer: GRH1802
Gedetailleerde informatie
Plaats van herkomst:
China
Merknaam:
Baosi
Modelnummer:
GRH1802
Pompsnelheid:
1800 m³/u
Ultieme druk:
≤0,5 Pa
Motorvermogen:
7,5+4,5 kW
Spanning:
380V/3-fase
Inlaat:
ISO160
Uitstel:
KF40
Lawaai:
<70 dB(A)
Gewicht:
472 kg
Afmetingen:
935×420×795mm
Koelwater:
0,3-0,6 MPa, 6 l/min
N2 zuivering:
0,25-0,69 MPa, 4-96 l/min
Markeren:

High Light

Markeren:

hoge snelheid droge vacuümpomp

,

1800m3h klauw vacuümpomp

,

halfgeleiderproces vacuümpomp

Handelsinformatie
Min. bestelaantal:
1 Instellen
Prijs:
USD 20000-280000/Set
Verpakking Details:
Exporteer standaard houten kistverpakkingen
Levertijd:
15-30 werkdagen
Betalingscondities:
T/T
Levering vermogen:
50 sets/maand
Productbeschrijving

GRH1802 Droge klauwvacuümpomp 1800 m3/h Olievrije industriële oplossing

De GRH1802 is een vacuümpomp met droge klauw met een hoge prestatie uit de GRH-serie, met een pompsnelheid van 1800 m3/h en een ultieme druk van ≤ 0,5 Pa.Het olieloze klauwmechanisme maakt het ideaal voor halfgeleiders, fotovoltaïsche en lithiumbatterijen productieprocessen die verontreinigingsvrije vacuümomgevingen vereisen.

Belangrijkste kenmerken

  • Olievrij klauwmechanisme:Geen olie of werkmedium in de pompkamer zorgt voor proceszuiverheid
  • een vermogen van niet meer dan 50 W;Een hogere energie-efficiëntie voor lagere bedrijfskosten
  • Geavanceerd rotorontwerp:Verbeterde stofontladingscapaciteit bij zware procesomstandigheden
  • Niet gevoelig voor stof en damp:Verantwoordelijk voor de betrouwbare behandeling van stof en waterdamp in gepompte gassen
  • Compact en geïntegreerd:Ruimtezuinig ontwerp (935 * 420 * 795 mm, 472 kg)
  • Volledige bescherming:Alomvattende bescherming met sterke adaptieve controle
  • Laag trillings- en geluidsniveau:Onder 70 dB (A) bij ultieme druk
  • Geavanceerd afsluitingssysteem:Lipdichting + labyrintdichting + stikstofspoeling voor olievrij vacuüm
  • Telefoonbewaking:I/O- en RS485-interface (Modbus) voor afstandsbediening

Technische specificaties

ModelGRH1802
Pompsnelheid1800 m3/h
De ultieme druk≤ 0,5 Pa
Motorvermogen7.5 + 4,5 kW
Spanning380V (3-fase)
InlaatverbindingISO 160
UitlaatverbindingKF40
Geluidsniveau< 70 dB (A)
Gewicht472 kg
Afmetingen (L*W*H)935 * 420 * 795 mm
Koelwaterdruk00,6 MPa
Koelwaterstroom6 L/min
N2-spuitdruk0.25·0.69 MPa
N2-spoelstroom4·96 l/min
Werktemperatuur5 ̊40°C; ≤ 80% RH

Toepassingen

  • Halfrol: Etch, Ionimplantatie, CVD (ALD, PECVD, MOCVD, SACVD, RTP, HDP-CVD)
  • Photovoltaïsche energie: kristallen-groeiovern, fabricage van zonnecellen
  • Lithiumbatterie: vacuümdrogen van cellen, vulling met elektrolyten, ontgassing