BAOSI watergekoelde droge vacuümpomp GRM601, 600 m³/h, ≤0,15 Pa, 1,9+1,9 kW

Kenmerk:

• Laag energieverbruik,
• Hoge pompsnelheid,
• Sterke stofverwijderingscapaciteit,
• De mogelijkheid om gemakkelijk condenseerbare procesgassen te transporteren.
• De stabiele pompsnelheid maakt het geschikt voor processen met grote uitlaatvolumes en biedt hoge betrouwbaarheid en lage operationele en onderhoudskosten.

• Maakt gebruik van een synchrone motor met permanente magneet voor een lager energieverbruik.
• Geavanceerde rotorstructuur verbetert de stofverwijderingscapaciteit van de pomp.
• Ongevoelig voor stof en waterdamp in het gepompte gas;
• Compacte structuur, klein formaat en hoge systeemefficiëntie;
• Uitgebreide beschermingsfuncties en sterke zelfaanpassing;
• Lage trillingen en geluid tijdens bedrijf; een geavanceerd lipafdichtings- en labyrintafdichtingssysteem, in combinatie met stikstofspoeling, zorgt effectief voor een olievrije pompkamer, waardoor de vacuümreinheid van de proceskamer wordt verbeterd.
• Externe bediening en bewakingsfuncties zijn mogelijk via de I/O-interface en RS-485-interface (Moudbus-protocol).

TECHNISCHE PARAMETER

Pompcurve

OMTREKMATEN

Toepassing:

• In de halfgeleiderindustrie omvatten schone, gematigde en ruwe processen etsen, ionenimplantatie en CVD.
• In de fotovoltaïsche industrie, wees voorzichtig met groeifurnaces en celproductieprocessen.
• In de lithium-ion batterij-industrie zijn processen zoals vacuümdrogen, elektrolytvulling en ontgassing van batterijcellen cruciaal.