GRM4201 Grote meerstadiumworteldroge vacuümpomp 4200 m3/h olievrij voor overdracht van lading-slot

De GRM4201 is een grootschalige meerstadiumworteldroge vacuümpomp die speciaal is ontworpen voor Load-Lock-kamers, overdrachtskamers en snelle pomptoepassingen.Met een pompsnelheid van 4200 m3/h en een tweemotorconfiguratie van 13+10 kWHet is een zeer efficiënt systeem voor de productie van zonnecellen en lithiumbatterijen, waarbij een snelle cyclus en een hoge vacuümintegriteit cruciaal zijn.

• Ultra-hoge capaciteit:4200 m3/h voor snelle afpompcycli Load-Lock
• Multi-stage wortels + booster:Hoog vacuüm met een breed werkdrukbereik
• Krachtige dubbele motor:synchrone motoren met vaste magneten van 13+10 kW
• Uniek rotorontwerp:Geoptimaliseerd voor een laag energieverbruik met een hoog rendement
• Olievrij schoon vacuüm:Geen olieverontreiniging, ideaal voor halfgeleiders en zonne-energie
• Precision Manufacturing:Geavanceerde CNC-bewerkte rotoren met volledige uitwisselbaarheid
• Bijslagers met twee uiteinden:Ultra-betrouwbare rotorondersteuning met minimale trillingen
• Superieure startbetrouwbaarheid:Ontworpen voor veeleisende procescyclussen
• Geavanceerde afdichting:Lippenverzegeling + oliebarrière van het doolhof + stikstofuitspuiting
• Watergekoelde motor:Het risico op olielekt elimineren, de levensduur verlengen
• Intelligente besturing:Een-touch start/stop met I/O en RS485 (Modbus-RTU)

• Vervaardiging van halfgeleiders: Load-Lock-kamers, transfermodules, procesinterfaces
• Heterojunctie (HJT) zonnecel: PECVD vacuüm, snel afpompen
• Gigafabrieken voor lithiumbatterijen: drogen van cellen en vacuümverwerking in grote hoeveelheden
• Vacuümcoating: Load-Lock voor substraatoverdracht met behoud van het vacuüm van de kamer